மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி & சுத்திகரிப்பு நுட்பங்கள்
திறந்த அணுகல்

சுருக்கம்

ஒரு புதிய கொள்கையைப் பயன்படுத்தி AuGe-LMIS இன் வெகுஜனப் பிரிப்பு: சுழலும் மின் புலங்கள்

Masashi Nojima, Tokio Norikawa மற்றும் Naoya Kishimoto

இரண்டு சுழலும் மின்சார புலங்களை (REFs) பயன்படுத்தி புதிய கொள்கை வகை மாஸ் அனலைசரை உருவாக்கி வருகிறோம். இந்த வெகுஜன பகுப்பாய்வி அயன் கற்றைகளின் தொடர்ச்சியான வெகுஜன பிரிவினையை இலவச வெகுஜன வரம்புடன் உணர முடியும் மற்றும் இரு பரிமாண (2D) விமானத்தில் ஒரே நேரத்தில் கண்டறிதல். இந்தக் கட்டுரையில், சரியான அதிர்வெண்களில் தனி AuGe திரவ உலோக அயனி மூலத்தை (LMIS) தனித்தனியாக மாற்றுவதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளோம். பின்னர், கோட்பாட்டு கணக்கீடுகள் மூலம் REF களில் அயன் பாதைகளை உருவகப்படுத்தினோம் மற்றும் ஒவ்வொரு வளைய வளைய வடிவத்தின் தோற்றத்தையும் அடையாளம் கண்டோம். இறுதியாக, Si வேஃபரில் அச்சிடப்பட்ட AuGe வருடாந்திர வளைய வடிவங்களின் டைம்-ஆஃப்-ஃபைட் செகண்டரி-அயன்-மாஸ்-ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி (TOF-SIMS) இமேஜிங் மூலம் கோட்பாட்டு கணக்கீடுகளின் உறுதியை உறுதி செய்தோம்.