ஜர்னல் ஆஃப் தியரிட்டிகல் & கம்ப்யூட்டேஷனல் சயின்ஸ்
திறந்த அணுகல்
ஐ.எஸ்.எஸ்.என்: 2376-130X
ஐ.எஸ்.எஸ்.என்: 2376-130X
மஹ்மூத் பஹார், ஹமிதே எஸ்கந்தாரி மற்றும் நாகி ஷபான்
வாயு உணர்திறன் சாதனங்களுக்கான நுண்துளை சிலிக்கான் (PSi) பயன்பாடு கடந்த தசாப்தத்தில் கணிசமான கவனத்தைப் பெற்றுள்ளது. இந்த வேலை மின் வேதியியல் பொறித்தல் மூலம் தயாரிக்கப்பட்ட PSi அடுக்குகளின் மின் அம்சங்களைக் கருதுகிறது. PSi மேற்பரப்பின் உறிஞ்சுதல் பண்புகளை நன்கு புரிந்து கொள்ள, PSi உருவவியல் எவ்வாறு பொறித்தல் அளவுருக்களைப் பொறுத்தது என்பதை அறிந்து கொள்வது அவசியம். PSi இன் இயற்பியல் அமைப்பு, அதாவது, போரோசிட்டி மற்றும் துளை அளவு விநியோகம் ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலத்தின் செறிவு, தற்போதைய அடர்த்தி, அனோடைசிங் நீளம் மற்றும் அனோடைசிங் செயல்முறையில் பொறிக்கும் நேரத்தை மாற்றுவதன் மூலம் கட்டுப்படுத்தலாம். எரிவாயு உணரிகளுக்கான எங்கள் சோதனை முறையை நாங்கள் விவரிக்கிறோம் மற்றும் பல்வேறு புனையமைப்பு நிலைமைகளுக்கு N2 வாயுவில் உள்ள PSi அடுக்குகளின் (p-வகை) மின் நடத்தை குறித்து ஆராய்வோம். N2 வாயு உறிஞ்சப்படுவதால் தற்போதைய அடர்த்தி கணிசமாக அதிகரிக்கிறது என்று முடிவுகள் காட்டுகின்றன. IV குணாதிசயங்களின் அளவீடுகள் வளிமண்டல அழுத்தம், அறை வெப்பநிலை மற்றும் N2 வாயு ஆகியவற்றிலும் மேற்கொள்ளப்பட்டன.